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SOS (半导体)
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蓝宝石上的硅是
集成电路
制造工艺中的一种
外延
技术,它将一层较薄的
硅
生长在
蓝宝石
晶圆上。SOS技术是
CMOS
技术中
SOI
的一部分。
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微影制程是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝光和显影在光阻层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在基板上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、
SOS
中的蓝宝石。